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首頁薄膜生長設備高真空鍍膜機 > GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀
  • 產品名稱: GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀
  • 上架時間: 2017-04-28
  • 產品編號: 03050102
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產品簡介:GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有機物。本機設有4個蒸鍍加熱舟,每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍,加熱舟上方有一個可旋轉擋板,當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住,以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極,在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化,進而損壞電極。該機采用金屬腔室,具有極高的真空度,真空度可達到5.0×10-7torr,樣品臺可對樣品進行加熱,加熱溫度室溫-500,是進行高真空蒸發鍍膜的首選設備。

 

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀(一代)操作參考視頻

 

產品名稱

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

產品型號

GSL-1800X-ZF4

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好

3、工作臺:落地式,占地面積2m2以上

4、通風裝置:需要

主要特點

1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

2、采用獨立蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。

3、真空腔體設有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個CF150閘板 閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規)、5個CF35法蘭(1個安裝電離規,4個備用,便于,安裝其他設備)。

4、在腔體底部配5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。

    

5、樣品臺安裝在腔體的頂部。

6、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,膜厚測量分辨率(鋁)為0.1Å。

7、可使用循環水冷機。

技術參數

1、輸入:單相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)

2、蒸發輸出:電壓AC0-8V連續可調,最大蒸發電流200A,最大蒸發功率<1.6KW

3、真空腔:Ø300mm(內徑)×400mm,不銹鋼,內壁經電拋光處理

                  

4、觀察窗:Ø95mm,采用專用密封圈密封

5、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s

6、真空度:5.0×10-6torr(泵開啟40min后)

7、極限真空度:5.0×10-7torr(加熱溫度為100℃-150℃

8、漏率:5.0×10-7Pa.m3/s

9、樣品臺:Ø140mm

                      

10、蒸發舟與樣品臺間距:260mm

11、冷卻水需量:15L/min

產品規格

尺寸:650mm×1200mm×1600mm;重量:600kg

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀(一代)操作指導

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